光刻机联合研究中。
苏远山是被郑振川一期期艾艾的电话直接给叫边的——在电话中,郑振川是说光源组硅谷的林本坚团队现了摩擦。
苏远山吓够呛,楼抢了一辆行车就往光源实验室赶。
不听所谓的摩擦,他微微松了口气。
……
“意思是林本坚那边说,根据他的技术直觉,KBBF晶体无法在DUV光源?”苏远山望向赵凯东问。
赵凯东正在一根一根抽着烟,点了点头:“是的,但国外已经现了KBBF的倍频技术……我边有所突破了。”
苏远山抿了抿嘴,深深皱了眉。他知,KBBF现在是口的,且国甚至力提供……希望与国外共享技术。
“老林那边就一直觉吗?”
“不是……是目前已有的光源,KBBF晶体不足满足光刻机的持续、功率激光输。”赵凯东望向苏远山:“但我相信……功率肯定是的。”
苏远山轻轻叹了口气:“我相信……”
苏远山知,世KBBF是一直有在光刻机的——或者说,加主流。初他让赵凯东搞KBBF,是怀着侥幸,希望够从KBBF完突破,从一举打破193纳米的桎梏,再加浸润式,候就很轻易靠着DUV就探5nm制程……(内容加载失败!)
(ò﹏ò)
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