面苏远山带着期许的眼神,林本坚有点不意思。
回国,他便前一直远程联络的赵凯东团队一头扎进了193nmArF光源的研中。现在正是有就,曙光的候……
坦白说,他真空考虑193nm的。且长期呆在硅谷,他灯塔国的技术实力技术远见是再了解不了。
既灯塔国那边已经瞄准了EUV,显,意味着必定是方向,码是一。
不……既苏远山问的是“妙招”,不是一代光源的方向……
那林本坚倒真有点法。
“妙招谈不,是在很早前有点不熟的法。”林本坚有些腼腆笑。
苏远山眼睛亮了:“林叔您说。”
“我在几年前一篇论文,就,果无法从光源缩短波长,那考虑其他物理手段实现。譬在镜头与曝光区域中间加一层水,就波长降了。”
说着林本坚便简单介绍了一己的思路。
听完林本坚的介绍,边苏远山说什,赵凯东梁梦松便齐齐一愣——他俩人是光刻机老打的工程师,立刻便意识法有点异了。
赵凯东:“老林,你怕是不搞吧?”
梁梦松点头:“有点……咳。”
林本坚是笑了笑……(内容加载失败!)
(ò﹏ò)
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