老那边搞EUV搞火荼，国内却半点“动静”，并不是真实情况。
实，再老EUV联盟立的月，中科院的几光机所就联合召了数次议，讨论何实现EUV光源。
毕竟，遇不决先摸一鹰酱，是传统技艺了。
在方面，中科院诸位那谓是老手艺人。
讨论的结果是不容乐观的。
国内光技术的扛子，长光所，了支持国产光刻机激光光源的展，几乎是所有精锐骨干拿支援了赵凯东——甚至赵凯东本身就是国内准分子激光领域的专，是亲引导着激光光源的半导体领域市场化的先行者。
所，尚未企业化的赵凯东团队，便在一代光源的展方向拥有极的话语权。
在，赵凯东力排众议，认国内的半导体光源领域一步一脚印，现在EUV进行理论的研究，但最重的是需眼前的做，譬积极推进Arf光源的市场化，进一步巩固基础，培养人才。
再加老那边牵头的阵仗实在太，国内唯一有资格与掰一手腕的远芯又“兴致缺缺”，赵凯东秉持一态度……
，项虽有立，但不表示就真埋头鸵鸟了。长光所是从有限的经费人员中展了EUV理论的推动，甚至拉着……（内容加载失败！）
(ò﹏ò)
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