“虽前十年,我一直在Cymer合,包括目前我最新的TWINSCAN 1980Di,采的光源是Cymer的……国产仅在非浸润式型号。但从EUV亚联立……我的关系是有点难处的。”
“特别是EUV光源,目前精光那边尚拿不什方案,Cymer歹提了LPP方案,且ASML的验证机型证实了行。,根据荷兰的消息,LPP方案是存在功率不足的问题……但歹了头吧?反观我边……国内差一点,霓国人又怀鬼胎……老……你又一直警惕挂在嘴边……”
郑振川一直说,一直苦笑,最终长叹了一口气:“难呐!”
听郑振川的感慨,李明柳颇有些感同身受跟着一叹。
反倒是苏远山,脸露了一抹怪异。
——二位,似乎已经忘记了国产光刻机在十五年前是什鬼子了……今二十年不,宏芯就凭借着双工件台的领先浸润式光刻,一举了全球市场份额最的光刻机制造商……
是放在世,写说人信的。
郑振川居不满足……说,人呐,是的了伤疤忘了疼。
不……老郑说的确实是实。
EUV亚联虽立,且在五年中,由远芯主导着拉了十几单位进,总共投入了超……(内容加载失败!)
(ò﹏ò)
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